超声波清洗机原理：
简单的超声波清洗机由两部分组成：超声波发生器和清洗机(罐)。高频振荡器产生超声频率电流，并将其传输到换能器(由线圈缠绕的环形镍块组成)。当超声频率电流通过换能器线圈时，产生电磁场。在电磁场作用下，换能器镍环的直径周期性变化，振动频率约为20千周。超声波振动通过与换能器相连的液体容器底部传递到液体中，对产品进行清洗。
简单的超声波清洗机由两部分组成：超声波发生器和清洗机(罐)。高频振荡器产生超声频率电流，并将其传输到换能器(由线圈缠绕的环形镍块组成)。当超声频率电流通过换能器线圈时，产生电磁场。在电磁场作用下，换能器镍环的直径周期性变化，振动频率约为20千周。超声波振动通过与换能器相连的液体容器底部传递到液体中，对产品进行清洗。
影响超声波清洗机清洗效果的因素：
一般来说，超声波效果与超声波条件(如功率、频率、温度、压力)、超声波时间以及清洗液的选择有关。例如，在外延生长之前，用清洗液、硫酸和水对硅片进行超声波清洗，当超声波功率大于250W时，清洗效果更好。
